原子力显微镜

仪器型号：俄罗斯NT-MDT公司Ntegra Prima

主要用途：对各种薄膜样品进行纳米区域的形貌观测。

技术指标：

大量程扫描器的扫描范围不小于90×90×9 μm，三维全量程闭环控制扫描器，XY非线性度≤0.1％，Z方向噪声水平0.03nm，XY方向噪声水平0.02nm；小量程扫描器的扫描范围不小于9×9×3.6 μm，可实现原子分辨。

最大样品尺寸：直径：40mm，厚度：15mm，最大样品质量：100g。